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HEMT e HEM FETs: canali, materiali e applicazioni 2DEG

feb 11 2026
Fonte: DiGi-Electronics
Naviga: 744

I transistor ad alta mobilità elettronica (HEMT e HEM FET) utilizzano un eterogiunzione e un canale di gas elettronico bidimensionale (2DEG) per raggiungere velocità molto elevate, guadagno e basso rumore nei circuiti RF, millimetrici e di potenza. Questo articolo spiega la struttura degli strati, i materiali, le modalità, i metodi di crescita, l'affidabilità, la modellazione e la disposizione del PCB in passaggi chiari.

Figure 1. HEMTs and HEM FETs

Nozioni di base di HEMT e HEM FET

I transistor ad alta mobilità elettronica (HEMT o HEM FAT) sono transistor a effetto campo che utilizzano un confine tra due materiali semiconduttori diversi invece di un singolo canale dopato, uniformemente dopato, come in un MOSFET. Questo confine, chiamato eterogiunzione, permette agli elettroni di muoversi molto rapidamente in uno strato sottile con bassa resistenza. Per questo motivo, gli HEMT possono commutare a velocità molto elevate, fornire un forte guadagno di segnale e mantenere basso il rumore nei circuiti ad alta frequenza. Sistemi materiali comuni come GaN, GaAs e InP sono scelti per bilanciare velocità, resistenza alla tensione e costo, quindi gli HEMT sono ampiamente utilizzati nell'elettronica moderna ad alta frequenza e ad alta potenza.

Canale 2DEG in HEMT e FET HEM

Figure 2. 2DEG Channel in HEMTs and HEM FETs

Negli HEMT, l'alta mobilità deriva da uno strato molto sottile di elettroni chiamato gas di elettroni bidimensionale (2DEG). Questo strato si forma al confine tra uno strato a banda larga e un canale a banda banda più stretta. Il canale non è dopato, quindi gli elettroni si muovono con meno collisioni, offrendo un percorso veloce e a bassa resistenza per la corrente.

Fasi nella formazione del 2DEG:

• Gli atomi donatori nello strato a banda larga rilasciano elettroni.

• Gli elettroni si spostano nel canale a banda banda stretta a energia più bassa.

• Un sottile pozzo quantistico forma e intrappola gli elettroni in un foglio.

• Questo foglio 2DEG funge da canale veloce controllato dalla porta.

Struttura degli strati negli HEMT e nei FET HEM

Figure 3. Layer Structure in HEMTs and HEM FETs

Layer di cappuccio N⁺ (banda banda bassa)

Fornisce un percorso a bassa resistenza per i contatti sorgente e drenaggio. Il tappo viene rimosso sotto il cancello per mantenere il canale controllato.

3,2 N⁺ strato donatore/barriera a banda larga

Fornisce elettroni che riempiono i 2DEG e aiuta a gestire campi elettrici elevati.

Strato distanziatore non dopata

Separa i donatori dal 2DEG così gli elettroni vedono meno collisioni e possono muoversi più facilmente.

Canale/buffer a banda banda stretta non dopata

Mantiene i 2DEG e lascia scorrere la corrente rapidamente ad alte frequenze e campi alti.

Substrato (Si, SiC, zaffiro, GaAs o InP)

Sostiene l'intera struttura ed è scelto per la gestione del calore, il costo e l'abbinamento dei materiali; GaN-on-Si e GaN-on-SiC sono comuni nelle HEMT di potenza e RF.

Opzioni di materiali per HEMT e FET HEM

Sistema materialePrincipali punti di forzaGamma tipica di frequenze
AlGaAs / GaAsBasso rumore, stabile e ben sviluppatoMicroonde a basso mmWave
InAlAs / InGaAs su InPVelocità molto alta, rumore molto bassommWave e superiori
AlGaN / GaN su SiC o SiAlta tensione, alta potenza, pronto per la caldaRF, microonde, commutazione di potenza
Si / SiGeFunziona con CMOS, migliore mobilità rispetto al silicioRF e digitale ad alta velocità

Strutture pHEMT e mHEMT nei HEMT e nei FET HEM

Figure 4. pHEMT and mHEMT Structures in HEMTs and HEM FETs

TipoApproccio a reticoloPrincipali beneficiLimiti/compromessi tipici
pHEMTUtilizza un canale molto sottile e stendito mantenuto sotto uno spessore critico per adattarsi al substratoAlta mobilità elettronica, bassi difetti, prestazioni stabiliLo spessore del canale è limitato; La tensione immagazzinata deve essere gestita
mHEMTUtilizza un buffer "metamorfico" graduato che cambia lentamente la costante del reticoloPermette un alto contenuto di indio e una velocità molto elevata (alta fT)Buffer più complesso, rischio maggiore di difetti cristallini

Modalità di potenziamento e depletion negli HEMT e nei FET HEM

Figure 5. Enhancement and Depletion Modes in HEMTs and HEM FETs

HEMT in modalità depletion (dHEMT, normalmente attiva)

• Spesso presente in strutture AlGaN/GaN dove si forma un 2DEG da solo.

• Il dispositivo conduce a VGS = 0V; È necessaria una tensione negativa per chiudere il canale.

• Può raggiungere livelli di potenza molto elevati e tensioni di rottura elevate, ma necessita di ulteriori cure per rendere il sistema a prova di fallimento.

HEMT in modalità di potenziamento (eHEMT, normalmente disattivato)

• Costruito in modo che il canale sia spento a VGS = 0V.

• I metodi includono la ricesso della porta, la porta p-GaN o il trattamento con fluoro per spostare la soglia a un valore positivo.

• Agisce più come un MOSFET, che può rendere più facile proteggere e controllare i circuiti di alimentazione e automobili.

Ruoli RF e a onde millimetriche degli HEMT e dei FET HEM

Figure 6. RF and Millimeter-Wave Roles of HEMTs and HEM FETs

Nei circuiti RF e a onde millimetriche, i HEMT e i FET HEM sono ampiamente utilizzati perché possono commutare molto velocemente e aggiungere solo una piccola quantità di rumore al segnale. La loro struttura conferisce loro un alto guadagno e consente loro di lavorare a frequenze dove molti dispositivi in silicio iniziano ad avere difficoltà.

In questi sistemi, gli HEMT spesso fungono da amplificatori a basso rumore che amplificano segnali deboli con un rumore aggiunto minimo, e come amplificatori di potenza che alimentano segnali più forti ad alta frequenza. Le tecnologie HEMT avanzate possono mantenere un guadagno utile ben dentro l'intervallo delle onde millimetriche, quindi sono ampiamente utilizzate nei circuiti di comunicazione e rilevamento ad altissima frequenza.

HEMT e FET HEM GaN nella conversione di potenza

I GaN HEMT e i FET HEM sono ora utilizzati come interruttori principali in convertitori di potenza ad alta efficienza e alta frequenza nella gamma 100–650 V. Hanno perdite di commutazione molto inferiori rispetto a molti MOSFET al silicio, quindi possono funzionare a centinaia di kilohertz o addirittura fino al range dei megahertz restando comunque efficienti.

Questi dispositivi offrono anche bassa resistenza di accensione e bassa carica, il che aiuta a ridurre sia le perdite di conduzione che di commutazione. Il loro forte campo elettrico e la buona gestione della temperatura supportano magneti più piccoli e stadi di potenza più compatti. Per ottenere questi vantaggi in sicurezza, il gate drive, la disposizione del PCB e il controllo EMI devono essere pianificati con cura in modo che i bordi di tensione elevati e il ringing rimangano sotto controllo.

Crescita epitassiale per HEMT e FET HEM

MBE (Epitassia a fascio molecolare)

• Utilizza un ultra-alto vuoto e un controllo molto preciso della crescita.

• Comune nella ricerca e HEMT a basso volume e altissime prestazioni.

MOCVD (CVD Metallo-Organico)

• Supporta un elevato throughput dei wafer.

• Utilizzato per HEMT commerciali GaN e GaAs, bilanciando prestazioni e costi di produzione.

Affidabilità e comportamento dinamico negli HEMT e nei FET HEM

Figure 7. Reliability and Dynamic Behavior in HEMTs and HEM FETs

Gli HEMT e FET HEM basati su GaN possono incontrare problemi di affidabilità quando commutano ad alta tensione e alta potenza. Le trappole nel buffer, nella superficie o nelle interfacce possono catturare la carica durante la commutazione, aumentando la resistenza dinamica di accensione e tagliando la corrente, causando il collasso della corrente rispetto al funzionamento in corrente continua.

Campi elettrici forti e temperature elevate vicino al cancello possono aggiungere stress extra. Col tempo, commutazioni ripetute, calore, umidità o radiazione possono cambiare lentamente valori come tensione soglia e perdite, quindi un buon design termico e una buona protezione supportano la stabilità a lungo termine.

Conclusione

Il comportamento HEMT e HEM FET deriva dal canale 2DEG, dal sistema di materiale scelto e dalla struttura pHEMT o mHEMT, modellati dalla progettazione in modalità di potenziamento o depletion. Insieme alla crescita MBE o MOCVD, trappole, resistenza dinamica e limiti termici definiscono le prestazioni reali. Modelli RF e di potenza accurati, insieme a scelte accurate di PCB e packaging, mantengono il funzionamento stabile.

Domande frequenti [FAQ]

Quale tensione di azionamento a gate servono gli HEMT GaN?

La maggior parte dei GaN HEMT in modalità di potenziamento utilizza circa 0–6 V gate drive.

Gli HEMT hanno bisogno di driver di gate speciali?

Sì. Hanno bisogno di driver gate veloci e a bassa induttanza, spesso IC dedicati ai driver GaN.

Quali pacchetti sono comuni per HEMT e HEM FET?

I HEMT RF utilizzano contenitori RF ceramici o montati superficiali. I Power GaN HEMT utilizzano pacchetti di potenza QFN/DFN, LGA, a bassa induttanza o alcuni pacchetti in stile TO.

In che modo la temperatura influisce sulle prestazioni dell'HEMT?

Una temperatura più alta aumenta la resistenza di accensione, riduce la corrente, diminuisce il guadagno RF e aumenta la perdita.

Come vengono testati gli HEMT nei convertitori di potenza?

Vengono controllati con un test a doppio impulso per misurare l'energia di commutazione, il sovrapasso, il ringing e l'RDS(on).

Quali misure di sicurezza sono importanti per le HEMT GaN ad alta tensione?

Usa isolamento rinforzato, fusibili o interruttori adeguati, protezione contro sovratensioni, corretta curvatura e spazio da sollievo, controllo controllato di dv/dt e comando protetto per il gate.